真空電子束焊接方法
來源：http://mpbgs.com.cn/news_article?news_id=138 發(fā)布時(shí)間：2021-11-11
真空電子束焊接方法：真空電子束焊接工藝是將被焊工件置于真空環(huán)境中使用定向高速運(yùn)動(dòng)的 電子束流撞擊工件使動(dòng)能轉(zhuǎn)化為熱能而使工件熔化進(jìn)行焊接的辦法，由于電 子束高的能量密度使焊縫較窄，深寬比大，焊接應(yīng)力和變形較小，在半導(dǎo)體 的濺射領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。
現(xiàn)有技術(shù)公開了一種焊接辦法，包含如下步驟（1）焊前預(yù)備清洗靶 材坯料和背板，并將其移至真空室內(nèi)進(jìn)行阻隔抽真空；（2）預(yù)熱焊縫；（3）實(shí)施第壹次真空電子束焊接；（4）把完成的靶材坯料組件進(jìn)行真空保溫；（5）實(shí)施第貳次真空電子束焊接；（6）淬火對(duì)完成的耙材坯料組件取出真空室，進(jìn)行急冷淬火。
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